电子探针X射线微区分析EDS与WDS的比较

电子探针X射线微区分析技术主要有两种方法：EDS（电子能量色散谱仪）和WDS（波长色散谱仪）。

WDS工作原理：电子束入射样品表面，激发的X射线在纳米量级的作用体积内产生，不同元素的特征X线以点光源形式散射。通过平面分光晶体进行衍射，当满足特定条件时，特定波长的X射线会被聚焦。这种技术要求晶体表面均匀满足衍射条件，通过弹性弯曲晶体并使X射线源、晶体表面与探测器位于同一圆周，实现了单色X射线衍射强度的显著提升。

EDS工作原理：利用Si(Li)能谱仪的特性，不同元素的X射线光子因其特征能量不同而被检测。当X射线光子被Si(Li)晶体吸收，会生成电子-空穴对，这些电子通过前置放大器转换为电流脉冲，进一步处理后形成电压脉冲，最后通过多通脉冲高度分析器分类计数，形成I-E图谱。EDS分析点内所有元素的X射线能量，具有高效率和快速定性分析的优点。

比较：EDS的优点包括高效率、结构简单、适用于粗糙表面分析，但分辨率较低，且不适用于超轻元素测量，需保持低温。而WDS虽然具有较高的分辨率和可测量元素范围广泛，但结构复杂，对样品表面要求较高，且聚焦过程较为繁琐。

电子探针X射线微区分析(EPMA)Electron Probe X-ray Microanalysis是用聚焦极细的电子束轰击固体的表面，并根据微区内所发射出X射线的波长（ 或能量）和强度进行定性和定量分析的方法。